1. Tergagap
1.1 Magnetron tergagap
Ini adalah metode menghasilkan pelepasan cahaya melalui tegangan, mengionisasi gas argon, membombardir target dengan ion argon untuk memercikkan partikel tanah jarang yang berat seperti disprosium dan terbium, yang diendapkan pada permukaan baja magnetik untuk membentuk lapisan film. Produk yang dapat digunakan untuk sputtering magnetron meliputi potongan persegi, ubin, potongan bulat, cincin, dll., dan sumber difusi sebagian besar adalah target logam murni disprosium atau terbium.
Sputtering magnetron memiliki keunggulan keseragaman lapisan yang baik, lapisan film padat, dan efek peningkatan gaya koersif yang stabil. Kerugiannya adalah: 1. Peralatannya mahal, dan harga satu peralatan kontinyu antara 3,5 juta hingga 5 juta; 2. Tingkat pemanfaatan material yang ditargetkan rendah, sehingga biaya relatifnya tinggi.
1.2 Sputtering multi-busur
Ini adalah lapisan yang menghasilkan sputtering lokal bersuhu tinggi melalui pelepasan yang disebabkan oleh lapangan. Ini memiliki tingkat pemanfaatan bahan target efisiensi pelapisan yang tinggi, dan kekuatan ikatan yang baik. Namun kekurangannya adalah 1. Partikel pelapis besar dan permukaan film kasar; 2. Keseragaman lapisan umum; 3. Stabilitas lapisan yang tidak memuaskan; 4. Kenaikan suhu lokal.
2. Penguapan
Evaporasi adalah metode pengendapan film dengan memanaskan dan menguapkan bahan pelapis dalam kondisi vakum. Evaporasi dibagi menjadi evaporasi statis dan evaporasi putar, mirip dengan pelapisan gantung dan pelapisan rol dalam proses pelapisan listrik dan masing-masing cocok untuk magnet besar dan kecil.
2.1 Penguapan Statis
Keuntungannya adalah suhu penguapannya tinggi, dan sublimasi sumber penguapan, pengendapan pada permukaan baja magnet, dan difusi pada magnet dilakukan secara bersamaan, sehingga efek difusi tanah jarang yang berat lebih baik. Karena kualitas film tanah jarang berat setelah penguapan berkaitan dengan suhu penguapan, derajat vakum, dan jarak pelapisan (jarak antara target tanah jarang berat dan lembaran magnet), lembaran baja magnetis perlu ditempatkan pada perkakas khusus. untuk memastikan jarak pelapisan, menghasilkan proses yang lebih rumit, efisiensi produksi yang rendah, dan konsistensi film yang buruk. Oleh karena itu, evaporasi statis lebih jarang digunakan dalam industri bahan magnetik dalam negeri.
2.2 Evaporasi Putar
Ini adalah metode pencampuran terus menerus dari baja kecil dan mikromagnetik serta bahan target tanah jarang yang berat melalui rotasi, dan logam Dy/Tb diuapkan setelah suhu tinggi diendapkan pada permukaan produk. Proses ini cocok untuk produk kecil, terutama produk elektroakustik dengan berat satuan kurang dari 1g; biaya bahan difusi rendah, pertambahan bobot kecil, dan HcJ meningkat secara signifikan; konsistensi HcJ tinggi. Kerugiannya adalah proses pemisahan produk dengan logam disprosium dan terbium relatif padat karya, dan proses ini jarang digunakan di industri, dan peralatan biasanya perlu disesuaikan, yang memiliki hambatan teknis tertentu.
3. Pelapisan
3-1 Penyemprotan otomatis
Letakkan lembaran magnet dalam satu lapisan dan letakkan di atas baki benda kerja. Gunakan pistol semprot pneumatik untuk menyemprotkannya secara bolak-balik hingga membentuk film. Jika sumber difusinya adalah fluorida atau oksida, maka dapat disemprotkan ke atmosfer. Jika itu adalah bubuk paduan hidrida atau logam tanah jarang yang berat, diperlukan perlindungan terhadap gas inert.
Keuntungan: 1. Dapat diterapkan pada sejumlah besar sumber difusi, termasuk hidrida, fluorida, oksida, dan paduan; 2. Dapat menyebarkan produk dengan berbagai bentuk dan ukuran, termasuk berbentuk ubin, potongan persegi, potongan bulat dan cincin; 3. Peralatan memiliki otomatisasi tingkat tinggi, dan baki benda kerja dapat digunakan secara universal, dan peralihan pesanan fleksibel dan nyaman; 4. Investasi peralatan rendah dan tingkat pemanfaatan tanah jarang yang berat tinggi.
Kerugian utama: Terdapat risiko paten jika sumber difusinya adalah fluorida, terdapat bahaya keamanan jika berupa hidrida dan paduan, dan konsistensi kinerja oksida buruk.
3-2 Sablon
Bubuk tanah jarang yang berat disiapkan menjadi tinta. Saat mencetak, tinta dituangkan ke salah satu ujung pelat sablon, dan tekanan tertentu diberikan pada bagian tinta pada pelat sablon dengan pengikis. Pada saat yang sama, pengikis bergerak dengan kecepatan seragam menuju ujung pelat sablon yang lain. Tinta diperas dari jaring ke lembaran magnetik dengan pengikis untuk membentuk film selama pergerakan.
Karena enkapsulasi reagen organik dalam tinta, hidrida atau paduan tanah jarang yang berat terhalang untuk bersentuhan dengan udara, dan oksidasi dapat dihindari. Oleh karena itu, hidrida tanah jarang yang berat dapat digunakan sebagai sumber difusi untuk pelapisan di lingkungan atmosfer, yang secara efektif menghindari risiko paten fluorida. Pada saat yang sama, proses sablon memiliki karakteristik efisiensi produksi yang tinggi, tingkat pemanfaatan tanah jarang yang berat, dan konsistensi pertambahan berat yang baik, yang sangat cocok untuk difusi batas butir baja magnet persegi. Dalam dua tahun terakhir, proses sablon telah dipromosikan dengan pesat di industri dan menjadi salah satu proses mainstream.
Kekurangannya adalah: 1. Screen dan scraper tidak cocok untuk produk berbentuk ubin dengan permukaan tidak rata; 2. Produk dengan ukuran dan rasio pertambahan berat yang berbeda biasanya memerlukan tinta, pelat sablon, dan perlengkapan yang sesuai, yang cocok untuk pesanan stabil skala besar. Untuk pesanan dalam jumlah kecil, penggantian layar dan perlengkapan yang sering akan mengakibatkan berkurangnya efisiensi, peningkatan biaya, dan rendahnya fleksibilitas.
